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更新時間:2025-11-05
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BECKHOFF EK1100
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倍福 KL9187 作為一款 8 通道電源分配終端模塊,憑借穩(wěn)定的供電控制能力與高可靠性設(shè)計,成為芯片生產(chǎn)場景中的關(guān)鍵支撐組件。該模塊支持 24V DC 輸入,每通道輸出電流可達 5A,且具備獨立的過載保護功能,能為芯片生產(chǎn)設(shè)備中的傳感器、執(zhí)行器及小型控制單元提供精準、穩(wěn)定的電源供給,避免因供電波動導(dǎo)致設(shè)備異常。
在抗干擾性能上,KL9187 模塊具備 500V AC 電氣隔離能力,可有效抵御芯片生產(chǎn)車間內(nèi)高頻等離子設(shè)備、高壓電源等產(chǎn)生的電磁干擾,防止電源信號波動影響精密設(shè)備運行。其寬溫工作范圍(-25℃~+60℃)適配芯片制造中光刻車間的恒溫環(huán)境與封裝車間的溫差變化,確保在不同生產(chǎn)環(huán)節(jié)均能穩(wěn)定供電。此外,模塊采用標準化導(dǎo)軌式安裝,寬度僅 12mm,可在芯片生產(chǎn)設(shè)備的緊湊型控制柜內(nèi)實現(xiàn)高密度部署,節(jié)省 40% 以上安裝空間,同時支持熱插拔設(shè)計,為后期維護提供便利。



二、核心應(yīng)用場景:賦能芯片生產(chǎn)全流程
1. 光刻環(huán)節(jié):保障精密設(shè)備穩(wěn)定供電
在芯片光刻車間,光刻機作為核心設(shè)備,其內(nèi)部的激光定位傳感器、晶圓傳輸機械臂驅(qū)動單元對供電穩(wěn)定性要。KL9187 模塊在此環(huán)節(jié)承擔電源分配任務(wù),通過 8 個獨立通道分別為光刻機的晶圓定位傳感器(2 個通道)、機械臂驅(qū)動電機(3 個通道)及環(huán)境監(jiān)測設(shè)備(3 個通道)供電。
模塊每通道的過載保護功能可實時監(jiān)測電流變化,當某一通道電流超出設(shè)定閾值(如傳感器供電通道電流超過 0.5A)時,模塊會立即切斷該通道電源,避免過載損壞設(shè)備。同時,其穩(wěn)定的電壓輸出(波動范圍 ±0.5%)確保激光定位傳感器的定位精度維持在 ±0.1μm,保障晶圓光刻圖案的準確性。某芯片制造企業(yè)引入 KL9187 模塊后,光刻機因供電問題導(dǎo)致的停機次數(shù)從每月 3 次降至 0 次,光刻良率從 95% 提升至 98.5%,單月減少晶圓報廢損失超 120 萬元。
2. 蝕刻環(huán)節(jié):精準控制設(shè)備供電邏輯
芯片蝕刻過程中,等離子蝕刻機的氣體流量控制閥門、真空壓力傳感器等設(shè)備需按特定時序啟動與運行,KL9187 模塊通過與 PLC 系統(tǒng)聯(lián)動,實現(xiàn)對這些設(shè)備的精準供電控制。模塊支持通過 EtherCAT 協(xié)議與控制系統(tǒng)通信,可根據(jù)蝕刻工藝步驟,遠程控制各通道電源的通斷時序,例如在蝕刻開始前,先為真空壓力傳感器供電(通道 1),待壓力達到設(shè)定值后,再為氣體流量閥門供電(通道 2-4),確保工藝流程有序進行。
此外,KL9187 模塊的電流監(jiān)測功能可實時反饋各設(shè)備的功耗狀態(tài),當蝕刻機某一氣體閥門電流異常升高(如超過 2A)時,系統(tǒng)可通過模塊數(shù)據(jù)判斷閥門是否存在卡頓,并及時觸發(fā)維護預(yù)警。某 12 英寸芯片蝕刻車間應(yīng)用 KL9187 模塊后,蝕刻設(shè)備的平均運行時間從 800 小時提升至 1200 小時,蝕刻工藝參數(shù)達標率從 96% 提升至 99.2%。
3. 封裝測試環(huán)節(jié):優(yōu)化多設(shè)備供電管理
在芯片封裝測試環(huán)節(jié),封裝機的引線鍵合單元、測試設(shè)備的探針臺均需獨立且穩(wěn)定的電源供給。KL9187 模塊通過 8 通道電源分配,分別為封裝機的鍵合電機(2 個通道,每通道電流 3A)、溫度傳感器(2 個通道)及探針臺的探針驅(qū)動單元(4 個通道)供電,實現(xiàn)多設(shè)備供電的集中管理。
模塊的獨立通道設(shè)計可避免設(shè)備間供電干擾,例如探針臺探針驅(qū)動單元的瞬時電流波動(最高 3A)不會影響封裝機溫度傳感器的供電穩(wěn)定性(工作電流 0.2A),確保封裝溫度控制精度維持在 ±1℃,鍵合壓力誤差控制在 ±5g。同時,模塊的狀態(tài)指示燈可實時顯示各通道供電狀態(tài)
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